壓力傳感器有哪些誤差是無(wú)法避免的？

　　壓力傳感器是利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的一類(lèi)傳感器。一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極，當薄膜感受壓力而變形時(shí)，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，通過(guò)測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號，從而獲得所測氣體壓力的變化，達到測量壓力的目的。主要功能是能感受壓力信號，并能按照一定的規律將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。該傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。

　　壓力傳感器哪些誤差是無(wú)法避免的？

　　首先的偏移量誤差：由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

　　其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過(guò)程的變化。

　　第三是線(xiàn)性誤差：這是一個(gè)對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性，但對于帶放大器的傳感器，還應包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn)，也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。

　　最后是滯后誤差：在大多數情形中，壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。